?我國高端電子化學(xué)品關(guān)鍵技術(shù)取得重大突破

    北京化工大學(xué)、江蘇博硯科技有限公司聯(lián)合召開國家重點研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目推進會，我國微電子加工用高端超純化學(xué)品關(guān)鍵技術(shù)取得重大突破，并已在宜興建成年產(chǎn)1000噸黑色光阻示范生產(chǎn)線。這意味著，長期受國外壟斷的微電子材料開始走向國產(chǎn)化，并為我國微電子及相關(guān)產(chǎn)業(yè)走出依賴“困境”起到了重要的引領(lǐng)作用。

　　微電子產(chǎn)業(yè)是我國國民經(jīng)濟的支柱產(chǎn)業(yè)，也是重點發(fā)展的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)。但在此領(lǐng)域的核心技術(shù)、關(guān)鍵裝備與材料是我國產(chǎn)業(yè)的短板，長期受歐美、日本等國家和地區(qū)的壟斷。江蘇博硯電子科技有限公司董事長宗健說，“有資料顯示，2017年我國進口芯片花費2072億美元。從材料來說，目前國內(nèi)自我供給僅占總需求的10%左右。這種被動局面繼續(xù)存在，將對我國信息安全及產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來很大的潛在風(fēng)險?！?br/>
　　北京化工大學(xué)理學(xué)院院長聶俊介紹，該校主持承擔的“微電子加工用高端超純化學(xué)品”是國家重點研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目，自去年啟動以來，通過產(chǎn)學(xué)研合作，突破了微電子加工用高端電子化學(xué)品超純化處理技術(shù)瓶頸，實現(xiàn)微電子加工用高感度光引發(fā)劑和弱堿顯影樹脂的結(jié)構(gòu)設(shè)計及超純化規(guī)模制備，并將在國內(nèi)建成超純?nèi)谆X(7N級)、納米色漿、光阻材料生產(chǎn)線、建立光阻材料的性能評價平臺，實現(xiàn)從原材料至最終產(chǎn)品的自主配套。

　　北京化工大學(xué)黨委書記王芳認為，事實證明，核心技術(shù)買不來，只有靠自己，中國特色的產(chǎn)學(xué)研道路才能將打破壟斷、掌握核心技術(shù)做成功。微電子加工用高端超純化學(xué)品項目，能夠快速在關(guān)鍵技術(shù)上實現(xiàn)突破與量產(chǎn)，就是一個成功的范例。